创新薄膜沉积装备企业「韫茂科技」连续完成数亿元A+轮和B轮融资

投资界（ID：pedaily2012）6月27日新闻，克日厦门韫茂科技有限公司（以下简称“韫茂科技”）宣布延续完成A+轮和B轮两轮融资，累计融资数亿元，引入新股东舜宇产业基金、创合鑫材（国投创合与厦钨产业基金）、国谦资源、长江证券旗下的长江发展资源、利势资源、银杏谷资源、御道创投，老股东红杉中国继续加持。本轮融资资金将用于手艺研发投入及加速产物规模量产。

厦门韫茂科技有限公司确立于2018年，公司致力于成为一家平台型的纳米级薄膜沉积装备制造企业。公司现在已推出12款产物，产物线包罗ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD化学气相沉积系统、UHV超高真空镀膜装备等高端薄膜沉积装备。公司已经获得了39项专利授权，另有几十项专利正在审批中。综合来看，韫茂科技是将半导体行业的周详薄膜制造手艺运用到新型显示、锂电、光伏、功率器件等领域，稀奇是针对能源领域产物和功率器件的周详生产制造。相较于半导体行业已经希望到几纳米的制造精度，现在泛半导体领域的制造精度有很大提升空间。

随着锂电、光伏行业近年来对产物性能的要求不停提升，电池企业、组件企业都希望将半导体领域的制造工艺手艺运用到自身生产制造历程之中，形成加倍细腻化、甚至是参数化的制造控制。韫茂科技看到了薄膜沉积手艺在上述领域的应用远景，并围绕差异应用行业和场景开发了一系列的PVD、CVD、ALD装备产物，并通过研制出批次型的ALD装备实现手艺创新突破。

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公司首创人王韫宇示意，公司目的是成为一家平台型薄膜沉积装备制造企业，围绕自身焦点手艺，在产物架构上加倍多元化。这一点差异于其他垂直于细分领域的装备企业，这也有赖于公司团队在产物研发方面的手艺积累。团队方面，该公司焦点团队成员为来自美国硅谷半导体装备公司的海归人才，包罗斯坦福大学博士，在半导体装备领域拥有近20年岁情履历。

舜宇产业基金团队示意：“ALD是极具潜力的高端薄膜沉积手艺，拥有广漠的应用远景，韫茂科技团队周全掌握以ALD为代表的成膜工艺及高端装备研发、生产能力，已赋能半导体、新能源、光电等产业应用，我们看好韫茂科技未来能够成为高端薄膜沉积装备制造领域的佼佼者。”

创合鑫材投资团队示意：“薄膜沉积装备作为半导体、先进显示、新能源等领域必备的工艺装备，有广漠的市场空间和优越的生长契机。韫茂团队深耕行业多年，掌握周详薄膜制备手艺，多领域产物已实现量产并获得客户认可。未来，韫茂将与上下游同伴配合开拓市场，我们希望施展创合鑫材在新质料和高端装备领域深耕的优势，为韫茂在产业链上下游赋能，见证企业进一步生长壮大。”

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